固德科技

VMS®- MACHINE LEARNING

機器學習智能監控系統

可即時偵測動態機械之動作訊號,即使動作訊號僅發生微小的異常,
即可預先判別得知機械是否即將會產生故障特徵

VMS-Machine Learning 機器學習智能監控系統

用途

各式重複行為動作設備

產業自動化的應用設備越來越多元而廣泛,要讓眾多設備正確規律運作,藉此需要更具高效能的量測設備管理監控。VMS®-ML機器學習智能監控系統可應用於任何具重複動作行為的機台相關設備,可即時偵測動態機械之動作訊號,即使動作訊號僅發生微小的異常,即可預先判別得知機械是否即將會產生故障特徵,以供使用者有充足的時間準備更換料件或產線的調度管理,避免無預警的故障產生影響產線作業,造成損失,亦可有效的預防機械在異常的情況下運作衍伸出的品質問題。

多軸向機械手臂

・任何具重複動作行為的機台設備
・取放晶圓用平行式機械手臂
・多軸向機械手臂
・Pick & Place裝置
・自動化產線設備
・半導體黃光設備、清洗設備、參數化塗佈設備
・封測廠前段:切割機、上片機、打線機、雷射切割機、研磨機
・封測廠後段:Header、Probe
・面板廠大型搬送手臂
・面板廠旋轉塗佈機、平行塗佈機

應用

動態訊號相似度判別

動態訊號相似度判別

・ 軟體自動辨認指定規範的動作訊號

應用

機械異常頻譜特徵Ⅱ:Spectrum Overall Value (SOA值管理)

機械異常頻譜特徵Ⅱ:Overall Value  (OA值管理) 標準比照 -採取國內外常用標準來當警戒值與危險值

・ 同機比照 -正常值:NA;警戒值:2NA;危險值:6NA
・ 同類比照 -同機型相同安裝及操作條件
・ 標準比照 -採取國內外常用標準來當警戒值與危險值

趨勢指標

監測系統各項趨勢指標意義

監測系統各項趨勢指標意義

震幅動態相關度 : 描述週期性製程動作穩定度,趨勢下降代表設備不穩定,有老化惡化現象。
頻率特徵異常指標 : 描述製程週期內,設備內部或外部產生異常頻率程度。
突波特徵異常指標 : 描述製程週期內,設備內部或外部產生異常突波程度。
頻譜能量指標 : 描述製程週期內,設備各個移動部件與結構穩定程度。
頻率動態相關度 : 描述週期性製程動作頻率穩定度,趨勢下降代表設備不穩定,有老化惡化現象。

應用領域

適用於半導體及製造相關產業

半導體長晶 :
• 晶棒切割
• Lapping
• 導角機
• Argon Anneal機械手臂
• LPCVD機械手臂
• Loader品質監測
• 濕式蝕刻旋乾機運
• 晶圓拋光機

半導體封裝 :
• 切割機
• 研磨機
• 上片機
• 打線機
• 雷射切割機



面板製造 :
• 面板切割機
• 塗佈製程
• 玻璃清洗製程
• WET / Stripper robot
• PVD / CVD robot
• Load to Load robot
• Stocker

機械產業應用 :
• 壓式衝壓機
• 伺服衝壓機
• 數位式沖孔機
• 沖孔機
• 手機機殼雕銑
• 金屬折板機
• 走心式車床
• 螺絲搓牙機

PCB產業 :
• 切割機
• 鑽孔機
• 裁磨機
• 鑽靶機



汽車製造 :
• 衝壓線
• 自動焊接線
• 大型機械手臂





半導體製造 :
• PVD/CVD transfer robot
• Wet Etching Transfer robot
• LPCVD機械手臂
• APCVD機械手臂
• Transfer robot
• STK


Machine Learning

什麼是機器學習?

機器學習是人工智慧的一個分支,人工智慧的研究歷史有著一條從以「推理」、「知識」、「學習」為重點的脈絡。顯然,機器學習是實現人工智慧的一個途徑,即以機器學習為手段解決人工智慧中的問題。

對於設備問題不知道如何找出嗎?


不清楚該如何選擇量測工具?設備問題不知道從何檢出?設備有異常卻不知道原因?讓服務量測專業人員為您解決問題。