解決策
測定機器
監視装置
IoT
貼付サーボ軸とノズル圧力監視
なぜ必要なのか？
貼付機の動作異常？
ひとつの異常が全体に影響を及ぼす関係性
ダイボンディングプロセスにおいて、貼付機はウェーハ上のチップを分離し、それらを封止基板上に配置する役割を担っています。そのため、位置決めにはミクロンレベルの高精度制御と安定性が求められます。
貼付機の各移動軸の動作は高負荷な連続運転が必要となるため、モーターの動作が不安定になったり、故障が発生したりすると、ウェーハ上のチップの位置決め精度に影響を与え、製品品質の低下、不良品の発生、生産ラインの停止といった問題につながる可能性があります。
吸着力と圧力を同時に正確に管理する必要性
貼付機のPick & Place（ピック＆プレース）プロセスでは、ノズルは真空圧を利用してウェーハやチップを一箇所から別の箇所へ移動させます。この際、真空圧の大きさがノズルの吸着力を決定する重要な要素となります。ノズルがウェーハ表面に接触する際には、適切な接触圧を加えることで、確実にチップを把持する必要があります。
圧力が小さすぎるとチップをしっかり吸着できず、逆に圧力が大きすぎるとチップが破損し、不良品の発生や歩留まりの低下を引き起こす可能性があります。
なぜ必要なのか？
シリンダー品質が位置合わせに影響？
シリンダー異常で製品が廃棄に！
貼付工程では、シリンダーが適切な圧力を加えることで、はんだが均一に分布し、はんだ接合部がしっかりと形成されます。
しかし、シリンダーに異常が発生する要因は多岐にわたります。
例えば、オイルやガスの汚染によるバルブの詰まり、バルブ部品の摩耗、シャフトのミスアライメントによるシリンダーの不作動、異物の混入によるシリンダー損傷（引っかかり現象）などがあります。
シリンダーの動作が不安定になると、Die（ダイ）の位置決め精度が低下し、電気的接続に影響を及ぼし、最終的に製品の機能が損なわれる可能性があります。
特長説明
貼付機の移動軸の品質を確保
各軸の電流信号異常時に赤ランプ表示
外付け電流クランプセンサーを使用し、設備信号との接続不要！
すぐにX、Y、Zモーターの電流信号を監視開始。
貼付機の各移動軸モーターはBond Head（ボンドヘッド）の移動を制御します。
モーターが安定して動作すれば、移動軸も安定して機能します。しかし、モーターの潤滑不足や摩耗による引っかかりが発生すると、機械的な抵抗が増加し、モーターが出力を維持するためにより多くの電流を必要とします。その結果、モーターの電流が急上昇し、異常な振動が発生する可能性があります。
そのため、DB-IoT 貼付機品質監視IoTを活用し、移動軸の電流変化を監視することで初期異常を検出し、早期対応することで、貼付機の移動軸が安定して動作することを確保します。
運動軸の電流信号を監視し、初期異常を発見！
特長説明
人と機械の比率が大幅に向上し、管理効率を効果的に向上
DB-IoT 貼付機品質監視IoTは、貼付機のリアルタイム状況を一元的に統合します。
これにより、エンジニアやオペレーターが長時間機械のそばにいる必要がなくなり、各作業ステーションの中央管理室に集中できます。
機械がアラートを発した場合のみ対処することで、作業の手を空けて、より価値のある業務に専念できます。
機械の統合監視とリアルタイムアラート通知！
特長説明
メンテナンスの優先順位を決定
工場では、顧客の注文や市場の需要を満たすために、
予期しない機械の停止やメンテナンスが生産計画に影響を与え、出力低下につながる可能性があります。
そのため、機械のメンテナンススケジュールを計画する際は、最も重要または緊急度の高い設備を優先する必要があります。
DB-IoT 貼付機品質監視IoTは、機械の状態を信号灯（赤・黄・緑）で表示し、
ユーザーはこれを基にメンテナンスのスケジュールを決定できます。
また、システムがトレンドグラフを提供し、メンテナンス後の改善効果を視覚的に比較することが可能です。
予知保全の根拠とメンテナンス後の効果比較！
特長説明
修理位置の特定
貼付機は複雑な機械部品で構成されており、異なるシステム間で高度な相互作用が生じます。
そのため、故障の原因が複雑化し、修理すべき位置の特定が困難になります。
どのようにすれば、故障箇所を迅速に特定し、修理時間を短縮できるでしょうか？
DB-IoT 貼付機品質監視IoTは、しきい値を自由に設定でき、各軸の状態を個別に表示可能です。
これにより、機械の動作時の電流変化を把握できるだけでなく、修理が必要な軸の位置も特定できます。
その結果、診断・修理時間の大幅な短縮が可能になります。
カスタマイズ可能なしきい値設定と異常軸の特定！
特長説明
負圧異常の判定としきい値設定
圧力異常は電磁弁の故障または配管の破損の可能性あり
貼付機のノズルは圧力調整が不安定な場合、十分な吸着力を確保できず、
ウェーハを適切に保持できなくなる可能性があります。
逆に圧力が過剰になると、ウェーハ内部に亀裂が生じ、後続の製造プロセスや製品品質に悪影響を及ぼす可能性があります。
・各動作データを記録し、異常解析のための履歴を提供
・動的プロセスの範囲をトレンドグラフとして表示し、異常検出の第2基準として活用
DB-IoT 貼付機品質監視IoTは、一定時間内に動作が発生したかを確認し、負圧の特性値を抽出してしきい値を設定します。
例えば、負圧の最小値が-40以上の場合、負圧異常と判断できます。
そのため、圧力異常は電磁弁の故障または配管の破損による可能性があります。
特性値を抽出し、しきい値を設定！
特長説明
移動軸の品質データを精査し、長期記録
異常発生位置と時間を詳細記録
各吸着・搬送動作を一定に保ち、生産ラインの高効率運用を確保するためには、
貼付機の動作異常を即座に検出し、迅速にトラブルシューティングを行うことが重要です。
動作エラーや失敗率を低減し、生産効率を向上させるためには、詳細なデータ分析が不可欠です。
DB-IoT 貼付機品質監視IoTは、詳細なデータ記録を追跡し、
データ分析や動作頻度の解析を通じて、故障原因を迅速に特定し、トラブルシューティング時間を短縮できます。
これにより、ユーザーがより適切な判断を下せるよう支援します。
故障原因の特定を支援し、迅速なトラブルシューティングを実現！
応用範囲
ダイアライメント貼付プロセス監視
Support
その他の半導体関連分野
