半導体酸化プロセスリスクの排除

課題解決
正確な Life time の特定を期待し、運用コストを削減

ユーザーは Dry Pump に関する問題にしばしば悩まされています。
Dry Pump は定期メンテナンス前の正常な稼働時間内であっても、予期せず劣化が進むことがあります。
また、ポンプの粉詰まりによって機械が損傷し、最悪の場合は動作が完全に停止し、突発的なダウンタイムを引き起こすこともあります。
さらに、ベアリング側のオイル品質の問題（オイル漏れ・劣化）が原因でポンプが早期に故障し、運転中の正常なポンプでも定期メンテナンスの延長が求められることがあります。
これらの問題により、運用コストの増加や、保守後のポンプが本当に規格を満たしているかどうかの不透明性など、さまざまな課題が発生します。

こうした課題を解決するために、Good Technology は関連ソフトウェアとアルゴリズムの開発に着手しました。
これには、ISO 10816 に基づく回転機械の振動品質評価、Broad Band 数値管理、SOA（Spectrum Overall Value）管理などの複数のメカニズムが含まれています。
さらに、複雑な信号を直感的に理解できる健康指標に変換することで、従来の監視機能の不足を補完します。
これにより、FFT（高速フーリエ変換）スペクトル分析の専門知識を持たないユーザーでも、多くの微細な兆候を見抜くことができます。
ユーザーは、真空ポンプが優良・正常・警告・危険のどのレベルにあるのかを即座に把握できます。
また、短期間のトレンド管理のニーズを満たすため、一般的に見落とされがちな「第2種変動管理」にも対応しています。

実施目標
＃設備の品質を把握し、突発的なダウンタイムを防ぐ
Dry Pump の健康状態を把握し、適切な予知保全を実施することで、
ポンプの粉詰まりやベアリング側のオイル問題（オイル漏れ・劣化）による機械損傷や動作停止を防ぎ、突発的なダウンタイムを回避します。

＃迅速に問題の根本原因を特定し、異常を解消
Dry Pump にはさまざまな種類があり、製造プロセスに大きな影響を与えます。
設備の問題が発生した際に、速やかに問題の原因を特定し、異常を解消することが不可欠です。
これにより、製造ラインのプロセスが中断されることで生じる不良率の上昇や生産コストの増加を防ぎます。

＃メンテナンスコストを削減し、保守の効果を確保
Dry Pump の種類によっては、メーカーや外部委託によるメンテナンスが必要ですが、
メンテナンス後のポンプが本当に適切な保守を受けたかどうかを判断するのは容易ではありません。
ポンプの品質を正しく把握することで、過剰なメンテナンスを回避し、最適なタイミングでの保守を実施し、メンテナンスコストを削減できます。

＃良品の使用率を向上し、早期劣化を防ぐ
Dry Pump は半導体製造プロセスにおいて重要な役割を果たしています。
しかし、多くのユーザーは設備の状態を把握せず、一定の時間が経過するとポンプをメーカーに送ってメンテナンスを行い、
不必要な部品交換によりメンテナンスコストが増加するケースが見られます。
設備の状態を正確に理解することで、適切なメンテナンスが可能になり、早期劣化を防ぐことができます。

課題解決
OLVMS®-DP がもたらすメリット！

すぐに使いこなせる

設備品質の管理

正確な修理指示

メンテナンス効果の向上

ダウンタイム損失を回避

メンテナンスコストの削減