解決策
測定機器
監視装置
IoT
異常振動による材料の貼り合わせずれを防止
なぜ必要なのか？
製造プロセスの中断は失敗につながる可能性がある！
リフロー工程では、装置の正常な動作がプロセスの安定性と製品品質にとって非常に重要です。動作が不安定だったり、異常な振動が発生すると、溶融したはんだが移動し、はんだブリッジの形成や製品のずれが発生する可能性があります。
さらに、プロセス中のいかなる異常も、はんだ付けの中断につながり、バッチ全体の失敗やはんだ付けプロセスのやり直しを引き起こす可能性があります。そのため、各プロセスがスムーズかつ安定していることを確保する必要があります。
特長
Die Shift を防ぎ、歩留まりを向上！
Reflow工程では、加熱によってはんだが溶融し、再凝固することでチップと基板の強固な接続を実現します。気圧シリンダーや電動シリンダーが加熱プレートを上下に動かす際、動作が不安定だと、はんだ付けエリアの材料がずれ、製品の位置がずれる可能性があります。
VMS-M14 ダイナミックモニタリングシステムを活用することで、気圧シリンダーや電動シリンダーが加熱プレートを上下に動かす際に発生する動的振動特性値を監視し、機構の老朽化や故障による異常振動が原因で材料や製品の貼り合わせがずれることを防ぎます。
特長
即時状態表示と異常の防止
どのような状況で信号を遮断するかを決定するため、シリンダーの作動前に主軸にセンサーを取り付け、VMS-M14 ダイナミックモニタリングシステムを使用して上昇・下降時に発生する振動値を測定します。
取得した振動データを数値化し、大規模データベースを構築。ユーザーが設定したしきい値を基に、リアルタイムでシリンダーの状態を管理します。
メイン画面は信号灯（赤・緑）で即時状態を表示し、状況が一目でわかります。振動値がしきい値を超えた場合、機械は即座に信号を遮断し、ウェハの継続運転による材料のズレや破損を防ぎます。
赤信号は異常を示し、ブザーでユーザーに警告
特長
トレンド予測メンテナンスで安定したプロセスを確保
シリンダーが所定の位置に到達しない、動作が不安定、振動がある場合、機械的な故障や制御システムの問題の可能性があります。
例: 速度変動が大きすぎる、異常な加速/減速が発生する場合、内部の摩耗、不十分な潤滑、または空気漏れの可能性があります。
VMS-M14 ダイナミックモニタリングシステムを使用して品質トレンドを定量化し、予知保全スケジュールを決定します。
長期間のデータ収集を行い、トレンドの変化から異常の発生時期を特定し、予知保全スケジュールを適切に設定することで、プロセスの安定性と製品品質を確保します。
特長
全自動学習記録と監視モデルの構築
VMS-M14 ダイナミックモニタリングシステムは、全自動学習モードを使用し、学習期間中の最大振動値を記録するか、手動で基準を入力することができます。
測定エリアを選択すると、各セクションの詳細なトレンド分析にアクセスできます。監視された動的振動値が事前に設定されたしきい値を超えると、システムは即座に警告を発します。さらに、ユーザーはトレンドグラフを分析することで、機器の状態を評価し、将来の予知保全の基準を設定するための参考情報を得ることができます。
メリット
不良品の発生を効果的に防止
VMS-M14 ダイナミックモニタリングシステム は、2.5D 製造プロセスにおける Die Bonder および Reflow の組み合わせ製造機械向けに設計されたインテリジェント監視システムです。
Flip Chip Bonding 段階では、ダイプレースメントマシンを監視し、接着剤の適用と材料の接合品質を確認し、機械の老朽化や部品の故障による位置ずれを防ぎます。Reflow 段階では、空気圧シリンダーまたは電動シリンダーが加熱プレートを上下に動かす際に発生する特定の振動値を監視し、構造の老朽化や故障による材料接合のズレを防ぎます。
監視された振動値が設定されたしきい値を超えた場合、システムは即座に警告を発します。さらに、ユーザーはトレンドグラフを分析することで、機器の状態を評価し、予知保全の基準点を設定できます。
すぐに使用可能
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廃棄率の削減
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