氣壓缸
氣壓缸異常
造成推力不夠?
當氣壓缸發生異常，有可能會造成氣壓流回流，導致壓力無法調節，推力不足，該如何提早發現異常，避免影響製程?
當氣壓缸發生異常，有可能會造成氣壓流回流，導致壓力無法調節，推力不足，該如何提早發現異常，避免影響製程?
#半導體領域
#轉子馬達
#加工製造
#預知保養
氣壓缸作動原理
氣壓缸是一種利用壓縮氣體作為動力，驅動機構作動產生往復線性運動的機械元件。作動過程中，壓縮氣體由活塞的一端進入氣壓缸內，並對活塞施加壓力使活塞產生移位。
氣壓缸發生的異常的原因有很多，例如因為油氣污染或閥體磨損所造成的閥芯堵塞、軸心不對中所造成的氣壓缸不作動、異物進入所造成的拉缸現象等。該如何透過監測氣壓缸，避免因為過度磨損、老化、變形等而影響製程?
VMS-PH動態分析監測系統
量測氣壓缸在製程中的重複性生產行為，根據製程區分各訊號區段。根據螺桿的運行狀況了解氣壓缸的作動品質，進而透過VMS-ML機器學習智能系統線上監測並進行趨勢化管理機台與預知保養規劃。
振動訊號
Zoom in 0~20sec訊號區域
將螺桿振動訊號進行可視化管理。
A運行狀況較為穩定
B時序差異大較不穩定
基板全流程氣壓缸作動訊號
Zoom in訊號
氣壓缸抽真空使得頂針蓋(胡椒蓋)貼合切膜後洩壓，全流程訊號可視化管理。
平均值管理：工作區間及時動作訊號變化管理
平均標準差：工作區間及時動作訊號穩定性
VMS-PH動態分析監測系統特色在於邊緣端將訊號處理演算法建置於韌體內，自動擷取在邊緣端取得有效最大訊號、有效區間週期內的最大訊號群體標準差、或是特徵突波點，再將特徵數據傳送至管理系統，執行趨勢化管理機台預知保養監測，並且在系統中建置資料庫收集特徵數據。優點是不會將廠端網路頻寬耗佔過多，收集的特徵數據(已作適當清洗)適合客戶自行執行AI訓練，優化自有AI監測模型。
